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1400℃真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)(CVD-TF)

CVD-TF14P40/50/60/80 CVD-TF14T40/50/60/80
此CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。 優(yōu)點(diǎn) 爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成,溫場均勻節(jié)能50%以上
自主研發(fā)的空氣導(dǎo)流隔熱技術(shù)保證箱內(nèi)各部件的使用壽命及恒溫效果
自動斷電、超溫保護(hù)功能、漏電保護(hù)功能,以確保使用的安全性…… 安全性 過升報(bào)警、菜單鎖定、過升防止、復(fù)電延時(shí)。
采用單向閥技術(shù),使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制,安全。
……
■ 產(chǎn)品特點(diǎn)

提供具有真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗(yàn)環(huán)境

此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

產(chǎn)品性能:

1、爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成,溫場均勻節(jié)能50%以上

2、空氣導(dǎo)流隔熱技術(shù)保證箱內(nèi)各部件的使用壽命及恒溫效果

3、啟動電爐,排溫風(fēng)機(jī)同時(shí)自動運(yùn)行,試驗(yàn)結(jié)束后,排溫風(fēng)機(jī)將繼續(xù)運(yùn)行,直至爐體溫度低于60℃,排溫風(fēng)機(jī)自行停止,有效保護(hù)了爐體表面

4、自動斷電、超溫保護(hù)功能、漏電保護(hù)功能,以確保使用的安全性

5、電路采用連續(xù)加熱輸出方式,雙回路供電,強(qiáng)弱電單獨(dú)走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性

6、加熱模塊采用直流信號調(diào)節(jié)輸出功率,避免了感應(yīng)電對控制信號的干擾

7、自動補(bǔ)償由于溫度或老化對硅碳棒阻值變化帶來的控溫影響,避免人為調(diào)節(jié)的不準(zhǔn)確性和危險(xiǎn)性

8、采用數(shù)顯流量顯示儀,配合質(zhì)量流量控制器,采集數(shù)據(jù)并控制流量。重復(fù)性好,相應(yīng)速度快,穩(wěn)定等特點(diǎn)。(氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng))

9、自動控制與手動控制切換功能,自動控制模式能通過設(shè)定值自動開啟/關(guān)閉真空泵,使容器內(nèi)保持在一定的真空壓力范圍內(nèi)。手動控制模式使用用戶通過真空泵開啟/關(guān)閉按鈕直接操作真空泵。以滿足不同實(shí)驗(yàn)的需要。(中真空控制系統(tǒng))

10電磁閥緩啟動技術(shù),使電磁閥在真空泵開啟10秒鐘后打開,使?fàn)t管內(nèi)系統(tǒng)壓力保持準(zhǔn)確,也保證了廢氣不會返回到爐管系統(tǒng)影響實(shí)驗(yàn)效果(中真空控制系統(tǒng))

安全性:

1、過升報(bào)警、菜單鎖定、過升防止、復(fù)電延時(shí)。

2、采用單向閥技術(shù),使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制,安全。

3、采用混氣罐裝置,使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi),確保不會泄露。


■ 技術(shù)參數(shù)
型號單溫區(qū)CVD-TF14P40CVD-TF14P50CVD-TF14P60CVD-TF14P80

單溫區(qū)CVD-TF14T40CVD-TF14T50CVD-TF14T60CVD-TF14T80
性能使用溫度范圍300~1400
溫度分辨率1℃
控溫± 1
升溫速率0~20℃/min
加熱區(qū)長度200mm400mm
恒溫區(qū)長度70mm140mm
真空度-0.1MPa
空爐升溫時(shí)間15min

配置爐管時(shí)升溫速度500℃以下≤5/min;500-100010/min1000-12005/min;1000-14002/min
構(gòu)成外裝冷軋鋼板,表面耐藥品性涂裝
爐膛體多晶莫來石纖維
爐膛尺寸360*350*350mm560*350*350mm
爐管剛玉管
爐管尺寸Φ40/34*1000Φ50/44*1000Φ60/50*1000Φ80/70*1000
加熱器硅碳棒
加熱功率3KW5KW
斷熱層雙層強(qiáng)制風(fēng)導(dǎo)流
打開方式
控制 器控制器P:進(jìn)口程序控溫?cái)?shù)碼顯示;   T:7寸彩色觸摸屏程序控溫
控制方式使用微型電腦PID控制
設(shè)定方式P:輕觸五按鍵動作、數(shù)顯設(shè)定;   T:手指觸摸輕點(diǎn)設(shè)定
顯示方式P:雙行LED數(shù)字顯示;   T:彩色液晶屏顯示
定時(shí)0~999.9小時(shí)
運(yùn)行功能定值運(yùn)行、程序運(yùn)行
程序模式P:程序運(yùn)行、4條曲線、共40步;    T:50步 可調(diào)用儲存程序
傳感器S型熱電偶
附屬功能P:校正功能;     T:校正功能、實(shí)時(shí)曲線記錄、U盤數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全裝置過流漏電保護(hù)開關(guān)
質(zhì)量流量控制系統(tǒng)氣路數(shù)量3路(可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量)
流量范圍0-0500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分,可選配)氮?dú)鈽?biāo)準(zhǔn)
精度±1%F.S
響應(yīng)時(shí)間≤4s
工作溫度(流量計(jì))5-45
工作壓力進(jìn)氣壓力0.05-0.3MPa(表壓力)
系統(tǒng)連接方式采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數(shù)顯真空測量儀
中真空控制系統(tǒng)系統(tǒng)真空范圍10-100Pa
真空泵雙級機(jī)械泵理論極限真空度3x10-1Pa,抽氣速率4L/s,出氣口配有油污過濾器,額定電壓200V,功率0.55Kw
CVD系統(tǒng)配置1400度真空管式爐       多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)        真空系統(tǒng)


上一個(gè):1200℃開啟式真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)(CVD-TF)下一個(gè):1600℃真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)(CVD-TF)
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