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1600℃真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)(CVD-TF)

CVD-TF16P50/60/80/100? ?CVD-TF16T50/60/80/100? ?CVD-TF16P60/80/100S? ?CVD-TF16T60/80/100S
1600℃真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)(CVD-TF),提供具有真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗(yàn)環(huán)境,應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、等纖維等領(lǐng)域,此款CVD生長(zhǎng)系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。 優(yōu)點(diǎn) 爐膛采用多晶莫來(lái)纖維真空吸附制成,溫場(chǎng)均勻節(jié)能50%以上
自主研發(fā)的空氣導(dǎo)流隔熱技術(shù)保證箱內(nèi)各部件的使用壽命及恒溫效果
啟動(dòng)電爐,排溫風(fēng)機(jī)同時(shí)自動(dòng)運(yùn)行,試驗(yàn)結(jié)束后,排溫風(fēng)機(jī)將繼續(xù)運(yùn)行,直至爐體溫度低于60℃,排溫風(fēng)機(jī)自行停止,有效保護(hù)了爐體表面
爐門開啟自動(dòng)斷電、超溫保護(hù)功能、漏電保護(hù)功能,以確保使用的安全性 安全性 過(guò)升報(bào)警、菜單鎖定、過(guò)升防止、復(fù)電延時(shí)。
采用單向閥技術(shù),使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制,安全。
采用混氣罐裝置,使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi),確保不會(huì)泄露。
■ 產(chǎn)品特點(diǎn)

提供具有真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗(yàn)環(huán)境,應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、等纖維等領(lǐng)域

此款CVD生長(zhǎng)系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

爐膛采用多晶莫來(lái)纖維真空吸附制成,溫場(chǎng)均勻節(jié)能50%以上

自主研發(fā)的空氣導(dǎo)流隔熱技術(shù)保證箱內(nèi)各部件的使用壽命及恒溫效果

啟動(dòng)電爐,排溫風(fēng)機(jī)同時(shí)自動(dòng)運(yùn)行,試驗(yàn)結(jié)束后,排溫風(fēng)機(jī)將繼續(xù)運(yùn)行,直至爐體溫度低于60℃,排溫風(fēng)機(jī)自行停止,有效保護(hù)了爐體表面

爐門開啟自動(dòng)斷電、超溫保護(hù)功能、漏電保護(hù)功能,以確保使用的安全性

電路采用連續(xù)加熱輸出方式,雙回路供電,強(qiáng)弱電單獨(dú)走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性

加熱模塊采用直流信號(hào)調(diào)節(jié)輸出功率,避免了感應(yīng)電對(duì)控制信號(hào)的干擾

操作按鍵選用低壓金屬按鈕,自帶狀態(tài)指示燈,操作安全直觀

上下?tīng)t體采用航空插頭連接方式,連接安全方便

氣路總成采用食品級(jí)316不銹鋼制成,具有耐蝕性,耐大氣腐蝕性和耐高溫強(qiáng)度好,無(wú)磁性

采用數(shù)顯流量顯示儀,配合質(zhì)量流量控制器,采集數(shù)據(jù)并控制流量。重復(fù)性好,相應(yīng)速度快,穩(wěn)定等特點(diǎn)。(氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng))

自動(dòng)控制與手動(dòng)控制切換功能,自動(dòng)控制模式能通過(guò)設(shè)定值自動(dòng)開啟/關(guān)閉真空泵,使容器內(nèi)保持在一定的真空壓力范圍內(nèi)。手動(dòng)控制模式使用用戶通過(guò)真空泵開啟/關(guān)閉按鈕直接操作真空泵。以滿足不同實(shí)驗(yàn)的需要。(中真空控制系統(tǒng))

電磁閥緩啟動(dòng)技術(shù),使電磁閥在真空泵開啟10秒鐘后打開,使?fàn)t管內(nèi)系統(tǒng)壓力保持準(zhǔn)確,也保證了廢氣不會(huì)返回到爐管系統(tǒng)影響實(shí)驗(yàn)效果(中真空控制系統(tǒng))

■安全性:

過(guò)升報(bào)警、菜單鎖定、過(guò)升防止、復(fù)電延時(shí)。

采用單向閥技術(shù),使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制,保證安全。

采用混氣罐裝置,使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi),確保不會(huì)泄露。


■ 技術(shù)參數(shù)
溫區(qū)單溫區(qū)雙溫區(qū)
 型號(hào) CVD-TF16P50 CVD-TF16P60CVD-TF16P80 CVD-TF16P100 CVD-TF16P60SCVD-TF16P80SCVD-TF16P100S
CVD-TF16T50CVD-TF16T60CVD-TF16T80CVD-TF16T100CVD-TF16P60SCVD-TF16T80SCVD-TF16T100S
性能 使用溫度范圍 300~1600
溫度分辨率 1
控溫 ± 1
 升溫速率 0~20/min
 加熱區(qū)長(zhǎng)度260mm  600mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度120mm300mm
真空度-0.1MPa
空爐升溫時(shí)間15min
  構(gòu)成 外裝 冷軋鋼板,表面耐藥品性涂裝
爐膛體 多晶莫來(lái)石纖維
爐膛尺寸  440*390*330 780*390*330
 爐管剛玉管       
 爐管尺寸 φ50*1000φ60*1000φ80*1000φ100*1000φ60*1200φ80*1200φ100*1200
加熱器 硅鉬棒
加熱功率 4KW 4KW 10KW10KW
斷熱層雙層強(qiáng)制風(fēng)導(dǎo)流
  控制  控制器  P:進(jìn)口程序控溫?cái)?shù)碼顯示;   T7寸彩色觸摸屏程序控溫
 控制方式 使用微型電腦PID控制 / S型雙溫區(qū)單獨(dú)控溫
 設(shè)定方式  P:輕觸五按鍵動(dòng)作、數(shù)顯設(shè)定;   T:手指觸摸輕點(diǎn)設(shè)定
 顯示方式 P:雙行LED數(shù)字顯示;   T:彩色液晶屏顯示
 定時(shí) 0~999.9小時(shí)
 運(yùn)行功能  定值運(yùn)行、程序運(yùn)行
 程序模式  P:程序運(yùn)行、4條曲線、共40步;    T50 可調(diào)用儲(chǔ)存程序
 傳感器  S型熱電偶
附屬功能P:校正功能;     T:校正功能、實(shí)時(shí)曲線記錄、U盤數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全裝置過(guò)流漏電保護(hù)開關(guān)過(guò)流保護(hù)開關(guān)
質(zhì)量流量控制系統(tǒng)氣路數(shù)量3路(可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量)
流量范圍0-0500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分,可選配)氮?dú)鈽?biāo)準(zhǔn)
精度±1%F.S
響應(yīng)時(shí)間≤4s
工作溫度(流量計(jì))5-45
工作壓力進(jìn)氣壓力0.05-0.3MPa(表壓力)
系統(tǒng)連接方式采用KF快速連接波紋管、高真空手動(dòng)擋板閥及數(shù)顯真空測(cè)量?jī)x
中真空系統(tǒng)真空范圍10-100Pa
控制系統(tǒng)真空泵雙級(jí)機(jī)械泵理論極限真空度3x10-1Pa,抽氣速率4L/s,出氣口配有油污過(guò)濾器,額定電壓200V,功率0.55Kw

CVD系統(tǒng)配置1600度真空管式爐(可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū))       多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)        真空系統(tǒng)


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